根据《关于发布上海市2021年度“科技创新行动计划”科学仪器领域项目申报指南的通知》（沪科指南〔2021〕26号）要求，经申报推荐、形式审查、专家评审、立项公示等程序，现对“等离子体刻蚀终点检测光学发射光谱仪的研制”等35个项目予以立项，市科委资助1420万元，其中2021年拨款1136万元。请各项目承担单位做好项目组织实施和管理工作，确保按期完成项目研究任务目标。
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