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申报通知 | 上海市 | 上海市2022年度“科技创新行动计划”集成电路领域项目申报指南2022-06-28
为深入实施创新驱动发展战略,加快建设具有全球影响力的科技创新中心,根据《上海市建设具有全球影响力的科技创新中心“十四五”规划》,上海市科学技术委员会特发布2022年度“科技创新行动计划”集成电路领域项目申报指南。 一、征集范围 专题一、前沿技术研究 方向1:关键装备零部件与材料 研究内容(1):集成电路工艺检测设备用超宽光谱光源研制 执行期限:2022年...